主要用途为对无机物进行分析的质谱仪，即为无机质谱仪，不相同的物质离子化的方式为不同于有机质谱仪工作原理的地方。测物质离子化的方式是通过电感耦合高频放电或者其他的方式。

特点：

1、质量范围

质谱仪可以测定的原子量（分子量）范围，即为质谱仪的质量范围，Da为其单位。

400000Da为zui新型的基质辅助激光解吸附飞行时间质谱仪所能够达到的的质量范围

2、分子离子

当外来电子撞击有机化合物分子以后，绝大多数会有一个电子失去，这就使得一个正电荷为分子所带有，分子离子即为此种带正电荷的粒子。

分子离子被用于化合物的分子量的测定。

3、碎片离子

当撞击电子有着较高的能量，其比分子本身电离所需能量要高时，分子离子的一部分、大部分或者全部就会有裂解发生，生成的分子碎片也能够带正电荷，此即为碎片离子。

碎片离子被用于化合物的结构的测定。

4、分辨率

根据规定，仪器的分辨率是指两个相邻的质谱峰之一的质量数和两者质量数之差的比值，其使用r来代表。

1000000为傅立叶变换离子回旋共振质谱仪能够达到的分辨率。

10000-100000为双聚焦磁质谱仪所能够达到的分辨率范围。

5、灵敏度

仪器能够检测的zui小样品量（如有必要，需将相应的信噪比注明）；仪器能够同时测定的大组分与小组分的含量，一般使用1×10-6来表示。

10-15 - 10-18为zui基质辅助激光解吸附飞行时间质谱仪的灵敏度范围。

6、准确度

质谱分析的测定值（质量、同位素比值或化学组分）和理论值的偏差，即为准确度。

1ppm为傅立叶变换离子回旋共振质谱仪所能够达到的质量准确度。

5ppm为zui新型的四极杆飞行时间质谱仪所能够达到的质量准确度。