在国际上，随着光电子信息产业的发展，紫外光表面清洗技术也被提了出来。有机化合物的光敏氧化作用为紫外光清洗技术所利用，从而使得将黏附在材料表面上的有机物质去除的目的达到，通过光清洗后的材料表面能够"原子清洁度"。紫外臭氧清洗机为一种小型紫外臭氧清洗设备,能够用来对各种单晶基片进行清洗，从而使得成膜质量变得更好。与此同时，还能够将光刻胶去除，使材料表面润湿性得到改善以及对SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等进行清洗。一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段被提供，对于一些有机化合物的清除尤为合适。

优势

紫外臭氧清洗机对于扫描探测显微镜的样品应用十分广泛，该设备能够用来对原子力显微镜探针,扫描探针显微镜标准和表面上常规的油渍层和残留的无机材料进行清洗，同时也可以用来对物体表面的疏水性加以改变，对于部件和表面的化学改性十分有利，在扫描过程中，通过氧化和硬化处理的探针对探针的几何形状的保持十分有帮助，削尖的探针对于侧向分辨率的帮助十分的有利。臭氧清洗机设备已经在纳米技术化学,生物学,光学,电子学,半导体和其他范围内的科学实验室得到普遍应用。

特性:

1、全面UV保护使设备能够更加安全地进行操作。

2、设备无论是采购的成本还是操作的成本均要更加低廉。

3、定时器可以更加精确地进行控制。利用门关闭来对灯和定时器进行触发。

4、臭氧排气护置:

臭氧护置安放在生产线或者与过程相关设备旁边被允许。如此会减少材料的再污染。在护置的后面内置一个3英寸排气出口，能够和紫外臭氧清洗机的排气系统相连接，排气风扇没有被提供。

5、灯泡工作方式为间歇式。通过关闭门来触发灯和定时器

6、耐用以及坚固，结构材质全部为不锈钢。

7、寿命较长。压石英水银蒸汽灯将254纳米和85纳米UV发射出来，使快速氧化得到促进，将微量的有机残留物去除。