在国际上，随着光电子信息产业的发展，紫外光表面清洗技术也被提了出来。有机化合物的光敏氧化作用为紫外光清洗技术所利用，从而使得将黏附在材料表面上的有机物质去除的目的达到，通过光清洗后的材料表面能够"原子清洁度"。紫外臭氧清洗机为一种小型紫外臭氧清洗设备,能够用来对各种单晶基片进行清洗，从而使得成膜质量变得更好。与此同时，还能够将光刻胶去除，使材料表面润湿性得到改善以及对SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等进行清洗。一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段被提供，对于一些有机化合物的清除尤为合适。

紫外臭氧清洗机的维护保养

1、在干燥通风平稳的位置安放紫外臭氧清洗机。

2、在对紫外臭氧清洗机使用的过程，需要特别留心，不要对产品进行随意地挪动或者不能够将紫外臭氧清洗机的上盖打开，从而防止导致溢水的情况发生。

3、在对紫外臭氧清洗机使用结束以后，为了防止机器内部有一位产生或者有细菌滋生，需要对其进行及时地清洁。通常的清洁剂即能够使用。

4、应当保持紫外臭氧清洗机洁净与干燥，尤其值得注意的是预防回水。对紫外臭氧清洗机的电压电流是否正常进行定期的检查。

5、对于工具的检查与保养大概一周会有一次，往轴承等转动部位添加黄油，往气动马达部位添加机油。