俄歇电子能谱，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的简称，是一种材料科学与表面科学的分析技术。俄歇电子能谱之所以如此命名是因为该技术主要通过俄歇效应进行分析。其他外层电子吸收受激发的原子的外层电子跳到低能阶所放出的能量从而使其从原子逃脱离开，这一连串事件叫做俄歇效应，俄歇电子则为逃脱出来的电子。

物理原理

原子的内层电子形成的空穴能够通过入射电子束和物质作用激发出来，可能通过X光的形式将外层电子填充空穴向内层跃迁过程中所释放的能量放出，也就是使得特征X射线产生，也可能诱使核外另一电子激发成为自由电子，此种自由电子即是俄歇电子。

对于一个原子而言，在释放能量时，激发态原子仅仅可以进行一种发射，也就是俄歇电子或者特征X射线。元素的原子序数越大，特征X射线就有越大的发射几率。元素的原子序数越小，俄歇电子就有越大的发射几率，当原子序数为33时，二者拥有差不多相同的发射几率，所以俄歇电子能谱对于轻元素的分析非常的适用。

若某原子K层电子在电子束的作用下激发成自由电子，L层电子跃迁到K层，L层的另一个电子又在释放的能量作用下被激发为俄歇电子，此俄歇电子就叫做KLL俄歇电子。同样，LMM俄歇电子为L层电子被激发，M层电子往L层填充，另一个M层电子在释放的能量作用下被激发使得俄歇电子形成。

特点

1953年，俄歇电子能谱在鉴定样品表面的化学性质及组成的分析逐渐开始被实际应用。其特点为浅层表面为俄歇电子的起源，只将表面的资讯带出来，并且其能谱的能量位置固定，分析起来较容易。