主要用途为对无机物进行分析的质谱仪，即为无机质谱仪，不相同的物质离子化的方式为不同于有机质谱仪工作原理的地方。测物质离子化的方式是通过电感耦合高频放电或者其他的方式。

分类

无机元素微量分析和同位素分析等方面为无机质谱仪主要的应用范围。无机质谱仪包括电感耦合等离子体质谱仪、辉光放电质谱仪、激光探针质谱仪、离子探针质谱仪以及火花源质谱仪。

辉光放电质谱仪

辉光放电质谱仪有这较高的分辨率，高灵敏度，高精度分析能够进行，对于元素周期表中绝大部分元素而言均适用，进行固体分析非常便利。

电感耦合等离子体质谱仪

电感耦合等离子体质谱，有着简单易认的谱线，有着非常高的灵敏度和测量精度。

火花源质谱仪

火花源质谱仪除了能够整体性分析固体样品，而且还能够进行表面和逐层分析甚至于液体分析。

激光探针质谱仪

激光探针质谱仪能够进行表面和纵深分析。

应用

较快的测试速度以及较为精确的结果为质谱分析法的特点。其在石油化工、食品化学、医学卫生、环境科学、材料科学、核工业、地球化学、矿物学和地质学等领域以及空间技术和GA工作等特种分析方面得到了非常广泛地应用。

无机质谱法

定性定量分析无机化合物的质谱方法，即为无机质谱法。火花源质谱仪为早期主要使用的质谱仪器，如今电感耦合等离子体（ICP）电离源与质谱被成功地结合了起来，使得质谱法在无机物的分析方面得到了更为普遍的应用。无机质谱法的主要应用领域包括固体表面的微区和深度分析、无机物元素分析以及高纯气体中痕量杂质分析等。非常高的灵敏度为无机质谱法的的显著优点。