主要用途为对无机物进行分析的质谱仪，即为无机质谱仪，不相同的物质离子化的方式为不同于有机质谱仪工作原理的地方。测物质离子化的方式是通过电感耦合高频放电或者其他的方式。

无机质谱仪得到迅猛地发展，迄今为止，其在空间技术、考古、GA系统、石油化工、食品化学、医学卫生、环境科学、材料科学、、核工业、地球化学、矿物学以及地质学等领域的分析测试得到了非常广泛地应用。然而因为无机质谱仪大多数测试样品含量均要求超痕量甚至更低，因为对环境有着非常高的要求，要求在整个分析过程中，环境的洁净程度均非常高，因此对于部分ICP-MS、高分辨质谱以及同位素质谱仪等质谱仪器来说，均需要为其定制洁净实验室。

设计基本要求

1、洁净室满足洁净实验室建设规范和相关条例，符合用户需求。

2、防静电，不积尘，坚固耐用,维护起来比较方便。

3、以人为本，合理设计，使实验室的整体美观得到保证。

4、选用耐酸耐碱耐有机溶剂的材料。

实验室基本结构

无机质谱仪超净实验室一般包括更衣室、风淋室、前处理间、天平间、仪器间和辅助设备间等。

不同房间装饰、洁净度、换气次数以及温湿度要求不一定相同。

实验室要求

1、实验室建设不仅要使国家洁净间的规范要求得到满足，而且还要使特定的要求得到满足。工艺设备、气路系统、自控系统、电路系统、净化通风系统以及装饰装修均为实验室建设需要考虑的地方。

2、使极低的无机空白得以保持。

3、因为仪器非常精密，需要使仪器不易有故障出现得到保证。